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激光切割晶圓常見問題

時間：2022-06-10

晶圓切割的激光機具有劃片速度快，效率高，成片率高，精度高等顯著優點，與此同時激光切割也伴隨著切割難度大的問題，以砷化鎵晶圓切割為例，激光切割中長產生的難題是砷化鎵殘余物的重鑄以及切割接口會產生微裂痕。 

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