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　　晶圓切割主要采用的是用金剛石砂輪刀，在切割過程中可能產生崩邊，是最常見的一種問題。崩邊分為正面崩邊和背面崩邊，而產生的原因不盡相同。此次主要分析造成正面崩邊的原因。
　　正面崩邊分為三種類型：1.初期崩邊跟新刀片裝機有關，可能是刀片安裝傾斜、刀片未修成真圓或者金剛石未產生容削槽等原因造成的；2.循環崩邊可能是由于刀片表面收到沖擊、刀片表面有大顆粒金剛石凸起或者其它外來雜質；3.其它崩邊造成的原因有刀片偏擺、給進速度和切割深度的問題，還有可能是因為工件有位移形變造成的異常崩邊。